年产1000吨三氟化氮项⽬(特⽓⾏业纯度99,996%)
三氟化氮(Azote Trifluorure),化学式NF3,是⼀种强氧化剂。作为⼀种重要的⼯业特种⽓体,具有⼴泛的应⽤领域。
在微电⼦⼯业中,三氟化氮是⼀种优良的等离⼦蚀刻⽓体,在半导体芯⽚、平板显⽰器、光纤、光伏电池等制造领域,三氟化氮主要⽤作等离⼦蚀刻⽓体和反应腔清洗剂。它还可以⽤于⾼能化学激光器,通过与氢反应在瞬间放出⼤量热来实现其应⽤。三氟化氮还可⽤作⾼能燃料,并且在⽕箭发射中作为氧化剂和推进剂使⽤。
Le trifluorure d'azote, de formule chimique NF3, est un puissant agent oxydant. En tant que gaz spécial industriel important, il a une large gamme d’applications.
Dans l'industrie microélectronique, le trifluorure d'azote est un excellent gaz de gravure plasma ; Dans les puces semi-conductrices, les écrans plats, les fibres optiques, les cellules photovoltaïques et d'autres domaines de fabrication, le trifluorure d'azote est principalement utilisé comme gaz de gravure au plasma et comme agent de nettoyage des cavités de réaction.
Il peut également être utilisé dans les lasers chimiques à haute énergie pour réaliser son application en réagissant avec l'hydrogène pour émettre une grande quantité de chaleur en un instant. Le trifluorure d'azote est également utilisé comme carburant à haute énergie et comme comburant et propulseur dans les lancements de fusées.
Heure de publication : 04 décembre 2024